微生物如細菌，病毒，囊腫和黴菌是利用出芽或產生孢子繁殖。利用紫外線照射，使他們的DNA破損，成長能力喪失造成細胞死亡，並同時將它們轉為無害。

UVC消毒性能:是一個施加到微生物UVC劑量的功能劑量(Dose)= UVC輻射強度乘以時間(mW/cm2 x Sec= mJ/cm2)，越強的UVC(mW/cm2)，殺菌時間(Sec)越短。

各微生物所需之劑量大表，如下圖所示: